28.07.2026, 15:48
Москва. 28 июля. ИНТЕРФАКС - Китайская госкомпания Shanghai Aishengna Electronic Technology Group начала массовое производство разработанных в стране систем иммерсионной литографии в глубоком ультрафиолете (DUV), пишет Reuters со ссылкой на источник.
Для получения полных текстов публикаций воспользуйтесь платной подпиской.